更新时间:2026-11-05
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在半导体、光伏、精细化工等产业快速发展的当下,超高纯气体、腐蚀性特种气体、易燃易爆工艺气体的输送管控,已经成为工艺稳定、生产安全的关键一环。微量泄漏、管路污染、杂质析出,都有可能造成晶圆报废、光伏良率下降,甚至引发可燃、氧化性气体的安全事故。Rotarex 罗塔雷克斯深耕特种气体控制领域多年,推出的 K300 系列金属波纹管阀,凭借独特的密封结构与严苛的制造标准,成为高纯气体供气系统中备受信赖的核心控制元件。
和传统填料式阀门不同,K300 系列采用全隔离金属波纹管密封结构,从根源上规避了填料密封长期使用带来的介质渗漏风险。柔性波纹管将介质腔与阀杆外部环境分隔,既可以防止内部高纯气体向外逸散,也能够阻挡外界空气、水汽反向渗入管路污染介质,实现双向零逸散密封。这一设计,对于氢气、氧气、氯气等可燃、强氧化、腐蚀性介质尤为重要。为适配氧气工况,阀门可进行全套脱脂除油处理,消除油脂引燃隐患;面对强酸、卤素类腐蚀气体,还可升级哈氏合金波纹管与阀体组件,耐受复杂介质侵蚀。
洁净度是超高纯管路的硬性指标。K300 在 ISO4 洁净车间内完成装配与检测,阀体流道可做电解抛光处理,降低内壁粗糙度,减少微粒附着与析出,契合 SEMI 超高纯管路规范,满足半导体、光伏工艺气路的洁净要求。出厂阶段,每一台 K300 都需要经过独立氦检漏,严苛的测试流程保证密封性能稳定;每只阀门附带序列号,全生命周期可追溯,方便项目验收、设备台账管理与后期维护。
该系列兼顾手动与气动两种驱动方案,适配不同自动化需求。手轮款自带清晰的开关位置指示,现场操作人员能够直观判断阀门状态,减少误操作;气动版本可搭配限位开关、位置传感器,接入自动化气路联锁系统,实现远程通断控制,还可按需选配吹扫接口、氢气专用排气口,ATEX 防爆版本也可用于危险区域。产品流量覆盖范围广,Cv 规格丰富,从小流量支路切断到大流量主管路通断都有适配型号,最高承压可达 100bar,工作温度区间覆盖 - 40℃至 120℃,适配绝大多数特种气体分配场景。
从特种气体柜、气瓶供气面板,到半导体晶圆厂 UHP 管路、光伏制气输送、实验室高纯气路与化工腐蚀性气体分配回路,Rotarex 罗塔雷克斯 K300 波纹管阀,以零逸散密封、高洁净、耐腐蚀的综合优势,解决高纯气体输送里泄漏、污染两大痛点。在对纯度、安全、稳定性要求越来越高的先进制造赛道,它用扎实的工艺品质,守护每一段特种气体管线的稳定运行。
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