GEMÜ C60 CleanStar 超纯气动隔膜阀的性能

GEMÜ C60 是 CleanStar 系列下的气动高纯隔膜阀，面向对介质洁净度管控严格的流体系统开发，和常规防腐塑料隔膜阀定位区分，核心优势在于低析出、无金属接触设计，规避金属离子污染工艺流体的风险，适配洁净车间内的流体分配工况。

阀门采用活塞式塑料气动执行机构，无需金属弹簧接触介质，所有和流体接触的阀体、隔膜均选用高纯 PFA-HP 与 PTFE 材料，材质经过洁净工艺处理，可减少微粒释放，满足高纯流体输送的洁净要求。执行外壳选用 PVDF，具备稳定耐候与耐化学能力，工作压力范围 0–6bar，介质最高使用温度 60℃，通径覆盖 DN4 至 DN25，适配小流量高纯药剂、超纯水支路分配管线。

阀体流道做高流量优化设计，死腔结构少，流体在阀腔内滞留量低，便于管路吹扫与循环置换，降低残液堆积带来的纯度波动。产品出厂自带可视位置指示器以及行程限位结构，操作人员可以现场直观确认阀位，同时可限定阀门最大开启行程，稳定管路流量；还可拓展加装电气位置反馈配件，将开关信号接入自控系统，适配自动化洁净流体输送回路。接口形式丰富，包含扩口连接、PrimeLock 快接、对焊插口等洁净管路专用连接方案，适配半导体行业主流高纯管路装配标准。 该系列分为直通、V 型、T 型多种阀体结构，可灵活搭建分配阀组，多用于晶圆制造、微电子制程里的高纯化学品供给、超纯水分配、洁净药液输送等场景。在这类工艺中，流体纯度直接影响成品良率，C60 依靠低析出的材料方案、洁净流道结构，稳定完成高纯管路的启闭控制，为洁净流体工艺提供适配的隔离阀件方案。