全新MKS紧凑型压力传感器和开关
AA07B12PCD2GA1 是 MKS Instruments 公司一款超洁净单端电容压力传感器，属于 AA07B 产品线。该型号满量程为 100 psia（绝对压力），采用 合金接液材质，专为向关键工艺系统输送超纯气体的应用场景设计，是半导体、真空镀膜及精密气体管路压力监测的核心测量元件。

全新MKS紧凑型压力传感器和开关

超洁净结构与材质：接液部件全部采用 Incoloy® 镍基合金，表面经抛光钝化处理，粗糙度优于 10 µin Ra（部分资料显示优于 5 µin Ra）。制造和组装后，传感器经超净氮气吹扫，并在 Class 100 洁净室环境中进行双重密封袋包装。该结构赋予产品优异的干燥特性，且不会向工艺气体中贡献高于背景水平的颗粒物。

高过压耐受能力：AA07B 采用全 Incoloy 传感器结构，具有较高的过压容差，可减少因管路压力峰值引起的测量误差。100 psia 量程的过压限值为 150 psia，爆破压力达 1,000 psia，为系统安全提供保障。

以读数百分比标定的精度：精度规格为读数的 1.0%（含非线性、迟滞和重复性），不同于以满量程百分比标定的低性能设备。这一标定方式在较低压力范围内提供更准确的输出信号，契合气体测量应用对低压段精度的需求。

全新MKS紧凑型压力传感器和开关

温度稳定性：零点温度系数为满量程的 0.02%/°C，量程温度系数为读数的 0.04%/°C，在 0 至 50°C 工作温度范围内保持稳定输出。

技术规格

类型：压力传感器（绝对压力）

配置：单端（Single-ended）

满量程压力：100 psia

精度：读数的 1.0%

模拟输出：0-10 VDC

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优势品牌：Honeywell霍尼韦尔 Emerson 艾默生(Rosemount罗斯蒙特)

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