美国MKS紧凑型压力传感器开关
AA07B12PCD2GA1 是 MKS Instruments 公司一款超洁净单端电容压力传感器，属于 AA07B 产品线。该型号满量程为 100 psia（绝对压力），采用 合金接液材质，专为向关键工艺系统输送超纯气体的应用场景设计，是半导体、真空镀膜及精密气体管路压力监测的核心测量元件。

美国MKS紧凑型压力传感器开关

MKS AA07B12PCD2GA1 紧凑型压力传感器

AA07B12PCD2GA1 是 MKS Instruments 公司 Micro-Baratron® 系列的一款超洁净单端电容压力传感器，属于 AA07B 产品线。该型号满量程为 100 psia（绝对压力），采用 Incoloy® 合金接液材质，专为向关键工艺系统输送超纯气体的应用场景设计，是半导体、真空镀膜及精密气体管路压力监测的核心测量元件。

美国MKS紧凑型压力传感器开关该传感器基于电容薄膜传感技术。传感器内部设有一个小型腔室，腔室的一壁为金属膜片，膜片前侧暴露于被测气体，背侧面对一个刚性安装的陶瓷盘，盘上含有两个电极。参考侧抽真空至低于仪器分辨率的水平。当气体压力作用于膜片时，膜片产生微小形变，改变其与固定电极之间的极板间距，导致传感器电极电容失衡。内部精密恒频振荡器激励该电容桥路，将电容失衡转换为直流电压或电流信号，经信号调理电路线性化、调零和放大后，输出与压力成比例的信号。

该测量方式仅依赖膜片的物理形变，不受被测气体分子量、气体种类或组分的影响，可对多种工艺气体完成绝对压力采集。

超洁净结构与材质

接液部件全部采用 Incoloy® 镍基合金，表面经抛光钝化处理，粗糙度优于 10 µin Ra（部分资料显示优于 5 µin Ra）。制造和组装后，传感器经超净氮气吹扫，并在 Class 100 洁净室环境中进行双重密封袋包装。该结构赋予产品优异的干燥特性，且不会向工艺气体中贡献高于背景水平的颗粒物。

高过压耐受能力

AA07B 采用全 Incoloy 传感器结构，具有较高的过压容差，可减少因管路压力峰值引起的测量误差。100 psia 量程的过压限值为 150 psia，爆破压力达 1,000 psia，为系统安全提供保障。

以读数百分比标定的精度

精度规格为读数的 1.0%（含非线性、迟滞和重复性），不同于以满量程百分比标定的低性能设备。这一标定方式在较低压力范围内提供更准确的输出信号，契合气体测量应用对低压段精度的需求。

温度稳定性

零点温度系数为满量程的 0.02%/°C，量程温度系数为读数的 0.04%/°C，在 0 至 50°C 工作温度范围内保持稳定输出。

技术规格

类型：压力传感器（绝对压力）。配置：单端（Single-ended）。满量程压力：100 psia。精度：读数的 1.0%。模拟输出：0-10 VDC。过程接口：4 VCR 内螺纹。电气连接：9 针 D 型连接器，位于 9 英寸引线上。零点温度系数：0.02% FS/°C。量程温度系数：0.04% 读数/°C。过压限值：150 psia。爆破压力：1,000 psia。接液材质：Incoloy®。表面粗糙度：≤10 µin Ra。供电要求：13 至 32 VDC，最大 10 mA。工作温度范围：0 至 50°C。合规：CE。

应用领域

该传感器适用于向关键工艺系统输送超纯气体的输送系统，典型应用包括半导体制造设备的气体管路压力监测、气体柜与工艺系统的压力控制、真空镀膜设备以及科研实验真空系统等场景。其小型化设计、行业标准端到端长度及电气接口选项，使其可便捷地现场替换普通压力表或低性能传感器。

该产品由卡洛斯莫国际贸易（深圳）有限公司供应，提供现货交付服务，支持客户上门验货及面交方式完成交付。

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