MALEMA工业用流量控制器
KL91-M101-1-50 是美国 MALEMA 公司 KL-91 系列的一款压力变送器，专为高纯流体压力监测设计。该型号采用全 PFA/PTFE 接液结构，无 O 型圈密封及填充液，抑制金属离子溶出与颗粒物生成，适用于半导体制造中的超纯水（UPW）、化学机械抛光（CMP）浆料及湿法清洗工艺的压力监测场景。

MALEMA工业用流量控制器

LFC-7000 是美国 MALEMA（马莱玛）公司推出的一款高性能闭环集成式液体流量控制器，专为高纯液体（包括去离子水、强腐蚀性化学品及 CMP 抛光浆料）的精确流量控制而设计。该系列将 MALEMA 超声波流量计、控制阀与控制电子模块集成于单一紧凑单元内，实现对超纯液体流量的闭环精确控制，是半导体制造中替代传统蠕动泵输送系统的理想方案。

工作原理

控制器通过集成式超声波流量计实时测量实际流量，并将该流量信号传输至控制电子模块。电子模块持续将实际流量值与用户设定的目标值进行比较，并输出反馈信号驱动控制阀调节开度，从而维持目标流量恒定。数字信号处理（DSP）技术确保在工艺流体中存在一定量气泡时仍能保持可靠性能，同时消除环境与温度变化引起的测量漂移。

MALEMA工业用流量控制器核心技术特性

高精度控制：流量控制精度为设定值的 ±1% 或 ±3 mL/min（取较大者），控制重复性为设定值的 ±0.5% 或 ±0.5 mL/min（取较大者），适用于对化学品配比和浆料分配精度有严格要求的应用。

快速响应：流量控制时间小于 3 秒，大多数应用条件下通常小于 2 秒，响应迅速且过冲量极小。

两种控制阀配置：针对不同流体特性提供两种阀体选项。浆料应用采用电机驱动夹管阀（Pinch Valve），接液部件为 PFA 及铂固化硅胶管；化学品应用采用隔膜阀（Diaphragm Valve），接液部件为全 PTFE/PFA 材质，确保与超纯化学品及去离子水的兼容性。

小死区容积：流道设计将死区容积控制在较低水平，减少被测流体在传感器内部的滞留量，降低交叉污染风险，同时便于清洗和排液。

结构类型与端接选项：提供内联式（Inline）和插入式（Insertion）两种安装结构。端接选项包括 Flare、Pillar、20S 及 Tube 等多种规格，可适配不同管路系统。

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