卡洛斯莫MALEMA工业用质量流量计
KL91-M101-1-50 是美国 MALEMA 公司 KL-91 系列的一款压力变送器，专为高纯流体压力监测设计。该型号采用全 PFA/PTFE 接液结构，无 O 型圈密封及填充液，抑制金属离子溶出与颗粒物生成，适用于半导体制造中的超纯水（UPW）、化学机械抛光（CMP）浆料及湿法清洗工艺的压力监测场景。

卡洛斯莫MALEMA工业用质量流量计

KL91-M101-1-50 是美国 MALEMA 公司 KL-91 系列的一款压力变送器，专为高纯流体压力监测设计。该型号采用全 PFA/PTFE 接液结构，无 O 型圈密封及填充液，抑制金属离子溶出与颗粒物生成，适用于半导体制造中的超纯水（UPW）、化学机械抛光（CMP）浆料及湿法清洗工艺的压力监测场景。

卡洛斯莫MALEMA工业用质量流量计核心技术特性

全PFA材质，直接测质量流量，不受温度、粘度影响

• 用于CMP抛光浆料、高浓度强酸强碱精密配比

• 国内热销规格：1/4"（50~1500g/min）、3/8"（1500~4000g/min）

全氟聚合物接液结构：所有接液部件均采用 PFA/PTFE 氟聚合物制造，传感器为氧化铝基体表面多层 PTFE 涂层结构。该设计在保持电容式传感精度的同时，将金属接触面积降至低，适用于对金属离子污染敏感的半导体前道工艺。

无 O 型圈密封与无填充液设计：设备不采用 O 型圈密封或传压填充液，消除了传统压力传感器中密封件老化、渗透及填充液泄漏对高纯流体造成污染的风险。

小死区容积：流道设计将死区容积控制在较低水平，减少被测流体在传感器内部的滞留量，降低交叉污染风险，同时便于清洗和排液。

结构类型与端接选项：提供内联式（Inline）和插入式（Insertion）两种安装结构。端接选项包括 Flare、Pillar、20S 及 Tube 等多种规格，可适配不同管路系统。

产品购买可以找-卡洛斯莫周工一522O一58886，确认产品型号后可向其咨询更多产品信息。

优势品牌：Honeywell霍尼韦尔 Emerson 艾默生(Rosemount罗斯蒙特)

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