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AP Tech 半导体供气管路流量监测开关元件
产品简介:

AP Tech 半导体供气管路流量监测开关元件
AP Tech 专注超高纯气体控制元件研发制造,产品符合 UHP 超高纯规范,阀体采用 316L 不锈钢电解抛光工艺,具备低微粒析出、低泄漏、稳压稳定等特点,适配高纯、腐蚀性特种气体,广泛用于半导体气柜、气体分配面板、机台供气回路,取得相关行业洁净与气密性认证。

产品型号:AP74

更新时间:2026-11-06

厂商性质:经销商

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产品介绍
品牌SMC/日本应用领域道路/轨道/船舶,钢铁/金属,航空航天,半导体,机械设备

AP Tech  半导体供气管路流量监测开关元件

AP Tech(Advanced Pressure Technology)是源自美国的流体控制品牌,原厂位于加州纳帕,现隶属于 SMC 集团,是超高纯气体管路领域专业元器件制造商。品牌专注压力调节器、隔膜阀、流量开关、止回阀等高纯气体控制元件的研发生产,产品在百级洁净车间完成装配、测试与封装,满足半导体行业严苛的洁净管控要求。

AP Tech  半导体供气管路流量监测开关元件

该系列超高纯调压阀主体选用 316L 不锈钢材质,内部流道做电解抛光处理,搭配耐腐 PCTFE 密封件,可有效降低气体吸附、微粒析出,减少对工艺气体的污染。调压结构精密,调节线性佳,稳压效果平稳,泄漏率低,可覆盖真空、低压、中高压多种工况,兼容惰性气体、大宗高纯气体以及各类腐蚀性特种工艺气体。

超高纯调压阀,适配气源钢瓶柜、气体分配盘、设备末端用气点位,可与同品牌隔膜阀、流量开关、单向阀配套,搭建整套高纯气体输送控制系统,稳定控制供气压力,规避压力波动对精密制程造成干扰。产品规格型号丰富,量程、接口可选,适配不同管路布局需求,原厂洁净独立包装,避免储运过程二次污染。

产品广泛应用于半导体晶圆制造、光伏电池生产、平板显示、生物医药、实验室分析仪器等对气体纯度、压力稳定性要求高的行业,经过长期市场验证,产品一致性好,使用寿命稳定,可提供配套选型技术支持。


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